3/4 "Hộp lọc bột thiêu kết SS316L dành cho lọc tuần hoàn bùn CMP

Hộp lọc bột thiêu kết SS316L ren đực 3/4" của TOPTITECH được thiết kế đặc biệt để lọc tuần hoàn bùn CMP trong các quy trình phẳng hóa tấm bán dẫn. Quá trình ép đẳng tĩnh lạnh và thiêu kết chân không ở nhiệt độ cao-biến đổi khí-bột thép không gỉ 316L nguyên tử thành cấu trúc xốp nguyên khối cứng với sự phân bố kích thước lỗ được kiểm soát. Kết nối ren đực 3/4" cho phép thả trực tiếp{10}}khi thay thế vào hiện có Hệ thống phân phối bùn CMP, bao gồm các vòng tuần hoàn và các cụm-sử dụng{12}}tại ống phân phối miếng đánh bóng. Cơ chế lọc theo độ sâu bẫy các chất gây ô nhiễm hạt lớn-kết tụ silic, mảnh vụn ceria và chất mài mòn quá khổ-trong mạng lưới lỗ rỗng được liên kết với nhau trong khi vẫn duy trì tính toàn vẹn của bùn mài mòn. Xếp hạng lọc từ 0,2 µm đến 65 µm phù hợp với cả bùn oxit dựa trên silica-và bùn STI dựa trên ceria{20}}.

Các hợp chất phân hủy bùn CMP-chẳng hạn như cốt liệu mài mòn, các hạt gel từ sự phân hủy chất hoạt động bề mặt, cặn kim loại do ăn mòn đường ống và các sản phẩm phụ của vi khuẩn từ quá trình lưu trữ tuần hoàn-liên tục lắng xuống bánh lọc trên bề mặt hộp mực. Cấu trúc hoàn toàn-kim loại giúp loại bỏ các rủi ro di chuyển vật liệu thường gặp trong các hộp mực làm từ polyme hoặc sợi-, ngăn ngừa các khuyết tật của tấm bán dẫn ở hạ lưu bao gồm các vết xước nhỏ, sương mù và hư hỏng mẫu do nhiễm hạt lạ. 3/4" Hộp lọc bột thiêu kết SS316L có sợi nam chịu được các chu trình làm sạch bằng kiềm lặp đi lặp lại (pH 10–12) và tái tạo bằng sóng siêu âm mà không làm suy giảm cấu trúc. Có thể tái sử dụng trong nhiều chiến dịch sản xuất, hộp mực này mang lại tuổi thọ sử dụng 5-10 năm so với Chu kỳ thay thế 2-4 tuần của các chất thay thế polyme dùng một lần, giảm đáng kể chi phí tiêu hao và thời gian ngừng hoạt động của nhà máy bán dẫn.

• Chất liệu: Bột SS316L
• Kích thước: φ40*400mm
• Kích thước lỗ chân lông: 0,5um
• Đầu nối: 3/4: ren đực
• Độ xốp: 30% -40%
• Kỹ thuật: Thiêu kếtg

I. Việc lưu giữ hạt mà không có rủi ro{1}}vượt qua

Bột hình cầu 316L được nguyên tử hóa bằng khí- sẽ cô đặc và thiêu kết thành ma trận lọc độ sâu nguyên khối, mang lại khả năng loại bỏ định mức tuyệt đối xuống từ 0,2 μm đến 60 μm. Cấu trúc thiêu kết giúp loại bỏ các kênh rẽ nhánh bên trong và sự di chuyển trung bình thường thấy trong các thiết kế dạng quấn hoặc nhiều lớp. Quá trình lọc sâu thu giữ các chất kết tụ có tính mài mòn-silica, ceria, alumina-trong khắp mạng lưới xốp chứ không chỉ trên bề mặt. Đặc tính không bong tróc giúp ngăn chặn sự nhiễm bẩn của vòng tuần hoàn bùn phía thượng nguồn và cụm phân phối đệm. Phân bổ kích thước lỗ chân lông chính xác từ quá trình ép đẳng tĩnh lạnh và thiêu kết khí quyển hydro đảm bảo hiệu quả lọc nhất quán trên nhiều lô sản xuất.

 

 

II. Khả năng giữ bụi bẩn cao và tuổi thọ kéo dài

 

Hộp ren đực 3/4" mang lại khả năng giữ bụi bẩn lớn, thu giữ các hợp chất phân hủy bùn-các hạt gel do phân hủy chất hoạt động bề mặt, cặn kim loại do ăn mòn đường ống, sản phẩm phụ của vi khuẩn từ quá trình lưu trữ tuần hoàn-với độ giảm áp suất ban đầu thấp. Độ xốp cao (30–40%) và cấu trúc lỗ đồng nhất duy trì tính thấm cao và khả năng chống lọc thấp trong quá trình tuần hoàn bùn CMP liên tục. Tuổi thọ kéo dài giúp giảm tần suất thay bộ lọc, rất quan trọng cho công suất cao nhà máy wafer.

III. Tính ổn định nhiệt và hóa học vượt trội

Cấu trúc thiêu kết SS316L chịu được môi trường pH khắc nghiệt (pH 10–12) có trong công thức bùn dựa trên silica và ceria. Hàm lượng molypden cung cấp khả năng chống rỗ và chống nứt do ăn mòn ứng suất clorua so với các loại 304L. Cấu trúc nguyên khối hoàn toàn bằng kim loại chống lại hư hỏng do áp suất cao, chu kỳ tải xen kẽ và biến động nhiệt độ trong quá trình vận hành bơm tuần hoàn.

 

IV.Có thể làm sạch, có thể tái tạo và tổng chi phí sở hữu thấp

 

Cấu trúc hoàn toàn bằng kim loại hỗ trợ nhiều phương pháp làm sạch: xả ngược, bể siêu âm hoặc đốt cháy oxy hóa ở nhiệt độ cao. Chu trình làm sạch bằng kiềm (pH 10–12) và tái tạo siêu âm khôi phục tính thấm ban đầu mà không làm suy giảm cấu trúc. Hộp mực mang lại tuổi thọ sử dụng lâu hơn từ 5 đến 10× so với các bộ lọc bằng polyme dùng một lần (PTFE/PVDF) hoặc sợi quang, giảm đáng kể chi phí vật tư tiêu hao và thời gian ngừng hoạt động của dụng cụ.

V. Trang bị thêm trực tiếp với ren đực 3/4"

Kết nối ren NPT đực 3/4" tích hợp liền mạch với các hệ thống phân phối bùn CMP hiện có-vòng tuần hoàn, cụm điểm sử dụng tại ống góp đệm đánh bóng-mà không cần bộ điều hợp bổ sung. Tương thích với vỏ bộ lọc tiêu chuẩn, cho phép thay thế hiện trường trong vòng vài phút. Nắp đầu hàn bằng laze và giao diện hàn đảm bảo không có rò rỉ trong môi trường chế tạo wafer có lưu lượng cao, độ rung cao. Các đầu nối cuối, loại ren có thể tùy chỉnh, và kích thước tổng thể có sẵn theo yêu cầu của khách hàng.

 

VI. Hoạt động trong các ứng dụng khí và chất lỏng ở nhiệt độ cao

 

Mở rộng ra ngoài việc lọc bùn đến các đường dây phân phối khí, lọc hơi nước và chuyển hóa chất có độ tinh khiết cao. Thích hợp để lọc khí ở nhiệt độ cao lên đến 600 độ, với độ ổn định nhiệt trong chu trình khử trùng bằng nồi hấp nơi màng polymer bị phân hủy. Cung cấp các chức năng bổ sung: giảm tiếng ồn cho khí thải khí nén, đệm khí trong bộ điều khiển khí nén của công cụ CMP và làm chậm cháy cho các đường dẫn khí độc hại.

1. Lọc tuần hoàn bùn CMP trong quá trình phẳng hóa wafer bán dẫn

Hộp lọc bột SS316L thiêu kết bằng ren đực 3/4" loại bỏ các chất kết tụ mài mòn quá lớn (silica, ceria, keo silica) khỏi bùn phẳng hóa cơ học hóa học trong khi vẫn bảo quản các hạt đánh bóng hiệu quả trong khoảng 10–200 nm. Ma trận lọc sâu giữ lại các chất gây ô nhiễm hạt-mảnh vụn silic từ quá trình điều hòa tấm đệm, các hạt gel từ sự phân hủy chất hoạt động bề mặt, cặn kim loại khỏi sự ăn mòn đường ống-trong mạng lưới các lỗ liên kết với nhau mà không có các kênh bypass. Khả năng lưu giữ tuyệt đối giúp loại bỏ các vết xước nhỏ, vết mờ và hư hỏng mẫu trên bề mặt tấm bán dẫn, trực tiếp cải thiện năng suất khuôn trong chế tạo bộ nhớ và logic nâng cao. Phù hợp trực tiếp với các cụm điểm sử dụng và vòng tuần hoàn của công cụ CMP, với luồng NPT đực 3/4" cho phép thay thế trường nhanh chóng mà không cần sửa đổi vỏ.

2. Thu hồi chất xúc tác trong các quá trình lọc hóa dầu

Hộp lọc bột SS316L thiêu kết bằng sợi nam 3/4" hoạt động dưới áp suất chênh lệch cao (＞30 bar) trong nhiệm vụ tách chất lỏng-rắn và khí-rắn trên các thiết bị hydrocracker, máy xử lý hydro và các thiết bị FCC. Giữ lại các chất xúc tác kim loại quý (bạch kim, palladium, niken Raney) và chất xúc tác crackinh gốc zeolite từ dòng nước thải lò phản ứng, thu hồi chất xúc tác mịn xuống đến 0,5 μm. Độ xốp mở cao (30–50%) và mạng thiêu kết cứng chống xói mòn từ dòng bùn xúc tác tốc độ cao, cho phép kéo dài chu kỳ trực tuyến giữa các lần tái sinh rửa ngược.

3. Lọc khí và hơi nước ở nhiệt độ cao-

Hộp lọc bột thiêu kết SS316L ren đực 3/4" chịu được hoạt động liên tục ở nhiệt độ lên đến 600 độ trong môi trường oxy hóa, khiến nó phù hợp với quá trình lọc trước khử lưu huỳnh khí thải, bảo vệ đầu dò của hệ thống giám sát khí thải liên tục (CEMS) và loại bỏ bụi ở nhiệt độ cao khỏi khí tổng hợp của bộ khí hóa. Thực hiện lọc hơi khô ở 200–300 độ, loại bỏ các hạt rỉ sét, cặn ống và cặn carbon làm hỏng bộ lọc khử trùng hơi nước vô trùng ở hạ lưu. Cũng có thể áp dụng để loại bỏ dầu bằng khí nén, khử sương trong thiết bị kết tụ chất lỏng dạng khí- và lọc qua lỗ thông hơi vô trùng cho thiết bị lên men và lò phản ứng sinh học.

4. Xử lý hóa chất và dung môi ăn mòn

Hàm lượng molypden 316L mang lại khả năng chống rỗ trong môi trường chứa clorua (nước biển, thuốc tẩy, dịch vụ axit clohydric) nơi thép không gỉ 304 không thành công. Hộp lọc bột thiêu kết SS316L sợi đực 3/4" lọc các dung môi phân cực mạnh (DMF, NMP, axeton), axit sulfuric đậm đặc, dung dịch xút và axit hữu cơ mà không làm suy giảm vật liệu. Lọc sâu giữ lại các hạt xúc tác từ lò phản ứng hydro hóa, loại bỏ cặn trùng hợp khỏi vòng tuần hoàn monome và làm rõ chất lỏng truyền nhiệt trong hệ thống nhà máy lọc dầu. Khả năng tương thích hóa học rộng phù hợp với cả quy trình lọc liên tục và hoạt động hàng loạt với sự thay đổi dung môi thường xuyên.

5. Hệ thống năng lượng hydro và điện phân

Cấu trúc 316L thiêu kết vi xốp đóng vai trò là lớp khuếch tán hydro trong máy điện phân PEM và hệ thống điện phân nước kiềm. Hộp lọc bột SS316L thiêu kết bằng ren đực 3/4" giúp thu giữ các tạp chất ion và chất gây ô nhiễm dạng hạt từ dòng chất điện phân tuần hoàn, bảo vệ các cụm điện cực màng khỏi bị xuống cấp. Ngoài ra, còn được triển khai làm bộ phận tách chất lỏng khí-tại các đầu ra của máy điện phân, loại bỏ hơi ẩm mang theo từ khí sản phẩm hydro trước khi nén và lưu trữ.

6. Xử lý nước và nước thải công nghiệp

Hộp lọc bột SS316L thiêu kết bằng ren đực 3/4" đánh bóng thẩm thấu ngược trong hệ thống nước siêu tinh khiết bán dẫn, loại bỏ các hạt vi lượng xuống 0,22 μm để đáp ứng các tiêu chuẩn SEMI cho rửa wafer. Được triển khai trong lọc nước sản xuất để bơm vào mỏ dầu, loại bỏ chất rắn lơ lửng khỏi dòng chảy ngược bị gãy và xả thải của tháp giải nhiệt. Cũng có thể áp dụng làm bộ lọc đánh bóng cuối cùng trong đường hồi lưu CIP, thu giữ vết hàn, mảnh vụn đệm và các sản phẩm ăn mòn từ đường ống thép không gỉ mạng.

ĐT: 0917-3873009

Điện thoại: +86 18992731201

E-mail:zhangjixia@bjygti.com

Fax: 0917-3873009

Địa chỉ: Số. 195, Đại lộ Gaoxin, Khu phát triển công nghệ cao-, Thành phố Baoji, Thiểm Tây, Trung Quốc

WhatsApp: +86 18992731201

Chú phổ biến: 3/4" hộp mực lọc bột thiêu kết ss316l nam để lọc tuần hoàn bùn cmp, Trung Quốc, nhà cung cấp, nhà sản xuất, tùy chỉnh, cách sử dụng, bảng giá, để bán, trong kho, mẫu miễn phí, vật liệu xốp