Bộ lọc bột rắn SS316L thiêu kết cho máy thu khí

Bộ lọc rắn bột thiêu kết SS316L dành cho máy thu khí của TOPTITECH sử dụng bột hình cầu bằng thép không gỉ 316L nguyên tử hóa khí phù hợp với tiêu chuẩn ASTM F138 với hàm lượng oxy được kiểm soát chặt chẽ dưới 300ppm. Quá trình sản xuất sử dụng phương pháp ép đẳng tĩnh lạnh, sau đó là thiêu kết chân không ở nhiệt độ trên 1200 độ, tạo ra cấu trúc xốp nguyên khối với hình thái lỗ rỗng đồng nhất và thể tích rỗng cao. Không giống như cấu trúc lưới hàn, bộ lọc rắn này loại bỏ rủi ro di chuyển vật liệu thông qua liên kết luyện kim tại các điểm tiếp xúc hạt, đảm bảo không dỡ hạt trong quá trình luân chuyển nhiệt hoặc rung cơ học. Mạng lưới lỗ rỗng được kết nối với nhau tạo ra diện tích bề mặt bên trong rộng hơn 500 cm2/g, tối ưu hóa động học hấp thụ hóa học cho các loại khí phản ứng trong khi vẫn duy trì tính toàn vẹn cấu trúc dưới áp suất chênh lệch lên tới 250 psid.

Bộ lọc rắn dạng bột thiêu kết SS316L dành cho máy thu khí của TOPTITECH hoạt động như một bộ phận hỗ trợ thu khí không-bay hơi (NEG) hoặc bộ phận hấp phụ trực tiếp trong môi trường chân không cực cao (UHV), bơm chủ động hydro ở nhiệt độ phòng và thu được oxy, nitơ, carbon monoxide và hơi nước khi kích hoạt nhiệt từ 650 độ đến 760 độ . Ma trận 316L xốp mang lại độ ổn định nhiệt vượt trội lên tới 677 độ với lượng khí thoát ra tối thiểu, duy trì tính toàn vẹn chân không dưới 10⁻¹⁰ mbar trong sản xuất chất bán dẫn, chùm tia máy gia tốc hạt và các thiết bị điện tử kín. Các ứng dụng bao gồm đóng gói chân không MEMS, ống sóng di chuyển thu nhỏ{10}}cần bảo vệ cực âm khỏi nhiễm độc và điốt laser TO{11}}lắp ráp các hộp lon trong đó khả năng hấp phụ độ ẩm và khí ăn mòn ngăn chặn quá trình oxy hóa bề mặt. Cấu trúc có thể tái tạo hỗ trợ các chu trình nướng{13}}lặp đi lặp lại mà không làm giảm hiệu suất, giúp loại bỏ tạp chất khí một cách bền vững trong thiết bị phân tích và xử lý thành phần hàng không vũ trụ.

Vật chất: SS316L

Kích thước lỗ chân lông: 1um

Đường kính: 6mm

Chiều dài: 130mm

Kỹ thuật: Thiêu kết

 

Kiểm soát độ xốp và phân bố kích thước lỗ chân lông

Việc sàng và trộn chính xác bột hình cầu 316L trước khi nung kết giúp tạo ra cấu trúc lỗ đồng nhất với sự phân bố hẹp. Điều này đảm bảo sự khuếch tán khí nhất quán và hành vi hấp phụ có thể dự đoán được trên toàn bộ phần tử lọc, loại bỏ kênh hoặc vùng chết phổ biến trong các lớp hạt đóng gói.

 

Khả năng chống ăn mòn tuyệt vời cho môi trường khí xâm thực

Cấu trúc austenit 316L có bổ sung molypden mang lại khả năng kháng halogenua và các chất chứa-lưu huỳnh. Điều này ngăn chặn sự thụ động bề mặt vốn có thể chặn các vị trí getter đang hoạt động khi lọc các luồng quy trình tích cực hoặc bảo vệ các thành phần hạ lưu.

 

Độ bền cơ học cao với kết cấu tường mỏng

Ép đẳng tĩnh lạnh đạt được độ đồng đều về mật độ xanh, cho phép độ dày thành thiêu kết thấp tới 1,5mm trong khi chịu được áp suất chênh lệch vượt quá 200 psid. Điều này giảm thiểu hạn chế dòng chảy trong khi vẫn duy trì độ tin cậy của cấu trúc trong quá trình-xung ngược hoặc thay đổi áp suất nhanh.

 

Có thể tái sử dụng thông qua làm sạch bằng sóng siêu âm và-nướng- lại

Nền kim loại thiêu kết chịu được các quy trình làm sạch mạnh bao gồm siêu âm trong dung môi hữu cơ, sau đó là-nung chân không-ở cường độ cao. Điều này khôi phục các đặc tính dòng chảy ban đầu và hoạt động của bộ thu mà không làm thay đổi kích thước hoặc suy giảm vật liệu.

 

Khả năng cấu trúc lỗ chân lông lưỡng kim

Sự phân cấp bột được thiết kế có thể tạo ra cấu trúc-độ xốp kép trong đó các kênh dòng chảy lớn hơn hỗ trợ vận chuyển khí nhanh chóng trong khi các vùng xốp-vi mô tối đa hóa diện tích bề mặt cho quá trình hấp thụ hóa học. Điều này tối ưu hóa sự cân bằng giữa tốc độ bơm và tổng công suất thu gom trong một bộ phận duy nhất.

 

Không có sự bong tróc hạt hoặc di chuyển phương tiện

Liên kết luyện kim của các hạt hình cầu đảm bảo khả năng lưu giữ tuyệt đối của chính ma trận lọc. Điều này giúp loại bỏ việc tạo ra các hạt có thể gây ô nhiễm cho các quy trình nhạy cảm ở hạ lưu như cột chùm tia điện tử hoặc buồng xử lý tấm bán dẫn.

 

• Cấu trúc hỗ trợ máy bơm Getter không bay hơi (NEG): Đóng vai trò là ma trận hỗ trợ và ngăn chặn vật lý cho các vật liệu getter số lượng lớn (ví dụ: hợp kim Zr-V-Fe như St707) trong buồng chân không cực cao (UHV). Cấu trúc xốp 316L giữ các viên hoặc hạt getter đồng thời cho phép khuếch tán khí không bị cản trở đến các bề mặt hấp phụ hoạt động, duy trì tính toàn vẹn chân không dưới 10⁻¹⁰ mbar trong máy gia tốc hạt và đường truyền tia.

• Cân bằng áp suất gói điện tử kín: Chức năng như một lỗ thông hơi bảo vệ trong MEMS được hàn kín, vỏ cảm biến và gói bộ tạo dao động có chứa màng thu. Ngăn chặn sự chênh lệch áp suất trong chu trình nhiệt trong khi ma trận thiêu kết ngăn chặn sự di chuyển của các hạt có thể làm đoản mạch hoặc làm nhiễm bẩn các bề mặt khuôn nhạy cảm.

• Bộ cấy ion và Công cụ xử lý chất bán dẫn: Được lắp đặt trong các đường phân phối khí ở thượng nguồn nguồn ion Hall cuối hoặc buồng cấy ghép. Loại bỏ các hạt được tạo ra từ sự thay đổi xi lanh hoặc sự mài mòn của bộ điều chỉnh trong khi cấu trúc bột thiêu kết giúp ổn định dòng chảy từng lớp, đảm bảo phân phối khí tạp chất nhất quán trên các bề mặt wafer.

• Tái sinh hệ thống chân không đông lạnh: Được áp dụng trong mảng bơm đông lạnh trong đó thiết bị thu khí quản lý hydro sau khi tấm đông lạnh ấm lên trong chu kỳ tái sinh. Cấu trúc thiêu kết 316L chịu được sốc nhiệt từ nhiệt độ nitơ lỏng đến nhiệt độ nung 400 độ-mà không bị nứt hoặc mất khả năng giữ hạt.

• Sắc ký khí và thiết bị phân tích: Được sử dụng như một thiết bị hạn chế dòng chảy kết hợp và hỗ trợ thu gom trong các hệ thống lọc khí mang. Cấu trúc lỗ rỗng chính xác đảm bảo áp suất ngược ổn định cho độ ổn định của máy dò trong khi vật liệu thu khí loại bỏ vết oxy và hydrocarbon gây ra tiếng ồn cơ bản và suy giảm cột.

• Ống phân phối khí có độ tinh khiết cao-cao: Được cài đặt tại thời điểm--sử dụng trong các công cụ epit Wax và CVD, nơi các bảng thu khí loại bỏ tạp chất còn sót lại. Thân thiêu kết nguyên khối giúp loại bỏ các vết hàn và các chân chết bám vào các chất gây ô nhiễm, cung cấp khí nguyên chất đến các buồng lắng đọng để tạo màng-không có khuyết tật.

ĐT: 0917-3873009

Điện thoại: +86 18992731201

E-mail:zhangjixia@bjygti.com

Fax: 0917-3873009

Địa chỉ: Số. 195, Đại lộ Gaoxin, Khu phát triển công nghệ cao-, Thành phố Baoji, Thiểm Tây, Trung Quốc

WhatsApp: +86 18992731201

Chú phổ biến: bộ lọc bột rắn thiêu kết ss316l cho máy thu khí, Trung Quốc, nhà cung cấp, nhà sản xuất, tùy chỉnh, cách sử dụng, bảng giá, để bán, trong kho, mẫu miễn phí, vật liệu xốp